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等離子體清洗的結(jié)構(gòu)組成

更新時間:2017-04-05點(diǎn)擊次數(shù):1825
等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)組成

等離子清洗機(jī)

  等離子體清洗的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
  等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個部分做一個陳述: 
一、控制單元: 
  目前國內(nèi)使用的等離子清洗機(jī),包括國外進(jìn)口的,控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。 
   控制單元又分為啷個大的部分:
     1)電源部分:主要電源頻率有三種,分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要電源匹配器的,而2.45GHz又稱為微波等離子,主要的功能作用,前面已經(jīng)提到了,這里就不一一介紹了。
     2)系統(tǒng)控制單元:分三種,按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。 
二、真空泵: 
   真空泵分為兩種:1)干泵 、2)油泵  
三、真空腔體: 
    真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的:1)不銹鋼真空腔體,2)石英腔體。 
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